テラヘルツエミッション顕微鏡の開発とLSI故障解析への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: テラヘルツエミッション顕微鏡の開発とLSI故障解析への応用
• タイトルよみ: テラヘルツ エミッション ケンビキョウ ノ カイハツ ト LSI コショウ カイセキ エ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 斗内政吉, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 斗内, 政吉, 1959- トノウチ, マサヨシ, 1959- ( 01044352 )典拠; 大阪大学 オオサカ ダイガク ( 00296951 )典拠
• 出版事項: [斗内政吉]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 167p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: フェムト秒レーザー / テラヘルツ電磁波 / テラヘルツ放射顕微鏡 / LSI不良解析 / 故障箇所絞込み / MOSFET / Test Element Group / 非破壊・非接触検査 フェムトビョウ レーザー / テラヘルツ デンジハ / テラヘルツ ホウシャ ケンビキョウ / LSI フリョウ カイセキ / コショウ カショ シボリコミ / MOSFET / Test Element Group / ヒハカイ ・ ヒセッショク ケンサ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16206036
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16206036
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009309679; http://id.ndl.go.jp/bib/000009309679
• 整理区分コード: 214