テラヘルツエミッション顕微鏡の開発とLSI故障解析への応用

Call No. (NDL): Y151-H16206036
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009309679

Material type: 図書

Author: 斗内政吉, 大阪大学 [著]

Publisher: [斗内政吉]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 167p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: テラヘルツエミッション顕微鏡の開発とLSI故障解析への応用
Title Transcription: テラヘルツエミッションケンビキョウノカイハツト LSI コショウカイセキエノオウヨウ
Author/Editor: 斗内政吉, 大阪大学 [著]
Author Heading: 斗内, 政吉, 1959- トノウチ, マサヨシ, 1959- ( 01044352 )Authorities
大阪大学オオサカダイガク ( 00296951 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [斗内政吉]
Publication Date: 2004-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 167p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: フェムト秒レーザー / テラヘルツ電磁波 / テラヘルツ放射顕微鏡 / LSI不良解析 / 故障箇所絞込み / MOSFET / Test Element Group / 非破壊・非接触検査フェムトビョウレーザー / テラヘルツデンジハ / テラヘルツホウシャケンビキョウ / LSI フリョウカイセキ / コショウカショシボリコミ / MOSFET / Test Element Group / ヒハカイ・ヒセッショクケンサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16206036
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16206036
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009309679
http://id.ndl.go.jp/bib/000009309679
Bibliographic Record Category (NDL): 214