波動関数の偏光量子干渉を利用した極限超解像光リソグラフィー

• 資料種別: 図書
• タイトル: 波動関数の偏光量子干渉を利用した極限超解像光リソグラフィー
• タイトルよみ: ハドウ カンスウ ノ ヘンコウ リョウシ カンショウ オ リヨウシタ キョクゲン チョウカイゾウ ヒカリ リソグラフィー
• 著者・編者: 渋谷眞人, 東京工芸大学 [著]
• 著者標目: 渋谷, 眞人 シブヤ, マサト; 東京工芸大学 トウキョウ コウゲイ ダイガク
• 出版事項: [渋谷眞人]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: リソグラフィー / 量子光学 / 超解像 リソグラフィー / リョウシ コウガク / チョウカイゾウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17560038
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17560038
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009315452; http://id.ndl.go.jp/bib/000009315452
• 整理区分コード: 214