波動関数の偏光量子干渉を利用した極限超解像光リソグラフィー

波動関数の偏光量子干渉を利用した極限超解像光リソグラフィー

Call No. (NDL): Y151-H17560038
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009315452

Material type: 図書

Author: 渋谷眞人, 東京工芸大学 [著]

Publisher: [渋谷眞人]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 波動関数の偏光量子干渉を利用した極限超解像光リソグラフィー
Title Transcription: ハドウカンスウノヘンコウリョウシカンショウオリヨウシタキョクゲンチョウカイゾウヒカリリソグラフィー
Author/Editor: 渋谷眞人, 東京工芸大学 [著]
Author Heading: 渋谷, 眞人シブヤ, マサト
東京工芸大学トウキョウコウゲイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [渋谷眞人]
Publication Date: 2005-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: リソグラフィー / 量子光学 / 超解像リソグラフィー / リョウシコウガク / チョウカイゾウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560038
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560038
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009315452
http://id.ndl.go.jp/bib/000009315452
Bibliographic Record Category (NDL): 214