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MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

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MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

国立国会図書館請求記号
Y151-H17360143
国立国会図書館書誌ID
000009316550
資料種別
図書
著者
山崎二郎, 九州工業大学 [著]
出版者
[山崎二郎]
出版年
2005-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
MEMS ニ ヨル ジセイ ザイリョウ ノ コウアスペクトヒ ビサイ カコウ ト ジキ MEMS イヨウ マイクロポンプ
著者・編者
山崎二郎, 九州工業大学 [著]
著者標目
山崎, 二郎 ヤマサキ, ジロウ
九州工業大学 キュウシュウ コウギョウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2005-2006
2007.6
出版年(W3CDTF)
2005
2006
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)