MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

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Material Type: 図書
Title: MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ
Title Transcription: MEMS ニヨルジセイザイリョウノコウアスペクトヒビサイカコウトジキ MEMS イヨウマイクロポンプ
Author/Editor: 山崎二郎, 九州工業大学 [著]
Author Heading: 山崎, 二郎ヤマサキ, ジロウ
九州工業大学キュウシュウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [山崎二郎]
Publication Date: 2005-2006
2007.6
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 永久磁石 / 微細加工 / MEMS / 磁性材料 / マイクロポンプ / マイクロマシンエイキュウジシャク / ビサイカコウ / MEMS / ジセイザイリョウ / マイクロポンプ / マイクロマシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17360143
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17360143
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009316550
http://id.ndl.go.jp/bib/000009316550
Bibliographic Record Category (NDL): 214