面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法

• 資料種別: 図書
• タイトル: 面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法
• タイトルよみ: メンナイ ニ コウゾウ オ モツ シリョウ ノ ブンコウ エリプソメトリ カイセキホウ
• 著者・編者: 山口十六夫, 静岡大学 [著]
• 著者標目: 山口, 十六夫 ヤマグチ, トムオ; 静岡大学 シズオカ ダイガク
• 出版事項: [山口十六夫]
• 出版年月日等: 2003-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2006
• 数量: 7, 205p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: スキャッタロメトリ / 分光エリプソメトリ / 周期的ナノ構造 / リソグラフィ / 光計測 / 矩形溝構造 / 周期的Taワイアー スキャッタロメトリ / ブンコウ エリプソメトリ / シュウキテキ ナノ コウゾウ / リソグラフィ / ヒカリ ケイソク / クケイ コウ コウゾウ / シュウキテキ Ta ワイアー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560031
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560031
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009322973; http://id.ndl.go.jp/bib/000009322973
• 整理区分コード: 214