面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法

Call No. (NDL): Y151-H15560031
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009322973

Material type: 図書

Author: 山口十六夫, 静岡大学 [著]

Publisher: [山口十六夫]

Publication date: 2003-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 7, 205p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 面内に構造を持つ試料の分光エリプソメトリ解析法
Title Transcription: メンナイニコウゾウオモツシリョウノブンコウエリプソメトリカイセキホウ
Author/Editor: 山口十六夫, 静岡大学 [著]
Author Heading: 山口, 十六夫ヤマグチ, トムオ
静岡大学シズオカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [山口十六夫]
Publication Date: 2003-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2006
Extent: 7, 205p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: スキャッタロメトリ / 分光エリプソメトリ / 周期的ナノ構造 / リソグラフィ / 光計測 / 矩形溝構造 / 周期的Taワイアースキャッタロメトリ / ブンコウエリプソメトリ / シュウキテキナノコウゾウ / リソグラフィ / ヒカリケイソク / クケイコウコウゾウ / シュウキテキ Ta ワイアー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560031
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560031
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009322973
http://id.ndl.go.jp/bib/000009322973
Bibliographic Record Category (NDL): 214