FPDを支える薄膜技術

• 資料種別: 図書
• タイトル: FPDを支える薄膜技術
• タイトルよみ: FPD オ ササエル ハクマク ギジュツ
• シリーズタイトル: TRC R & D library
• 出版事項: 東京 : 東レリサーチセンター調査研究部門
• 出版年月日等: 2007.9
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 390p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ディスプレイ (情報) ディスプレイ (ジョウホウ) ( 00574876 )典拠
• NDC9版: 549.9 : 電子工学
• NDLC: ND416
• NDC（参考図書紹介）: 549.9
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 68000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND416-J25
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009326550; http://id.ndl.go.jp/bib/000009326550
• 全国書誌番号: 21414386
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1章 薄膜形成技術と応用/ 1

1.1 薄膜形成技術の概要/ 1

1.1.1 薄膜形成の基本/ 2

1.1.2 薄膜形成における基板と洗浄/ 4