FPDを支える薄膜技術

• Material Type: 図書
• Title: FPDを支える薄膜技術
• Title Transcription: FPD オ ササエル ハクマク ギジュツ
• Series Title: TRC R & D library
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 東レリサーチセンター調査研究部門
• Publication Date: 2007.9
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 390p
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: ディスプレイ (情報) ディスプレイ (ジョウホウ) ( 00574876 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.9 : Electronic engineering
• NDLC: ND416
• NDC (Introduction of Reference Books): 549.9
• Target Audience: 一般
• Price: 68000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND416-J25
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009326550; http://id.ndl.go.jp/bib/000009326550
• National Bibliography No. (JPNO): 21414386
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

第1章 薄膜形成技術と応用/ 1

1.1 薄膜形成技術の概要/ 1

1.1.1 薄膜形成の基本/ 2

1.1.2 薄膜形成における基板と洗浄/ 4