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小角入射電子線励起X線発光分光による酸化物薄膜の深さ方向分析技術の開発

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小角入射電子線励起X線発光分光による酸化物薄膜の深さ方向分析技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H17560020
国立国会図書館書誌ID
000009326671
資料種別
図書
著者
柏倉隆之, 宇都宮大学 [著]
出版者
[柏倉隆之]
出版年
2005-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ショウカク ニュウシャ デンシセン レイキ Xセン ハッコウ ブンコウ ニ ヨル サンカブツ ハクマク ノ フカサ ホウコウ ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
柏倉隆之, 宇都宮大学 [著]
著者標目
柏倉, 隆之 カシワクラ, タカユキ
宇都宮大学 ウツノミヤ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2005-2006
2007.5
出版年(W3CDTF)
2005
2006
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)