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小角入射電子線励起X線発光分光による酸化物薄膜の深さ方向分析技術の開発

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小角入射電子線励起X線発光分光による酸化物薄膜の深さ方向分析技術の開発

Call No. (NDL)
Y151-H17560020
Bibliographic ID of National Diet Library
000009326671
Material type
図書
Author
柏倉隆之, 宇都宮大学 [著]
Publisher
[柏倉隆之]
Publication date
2005-2006
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
小角入射電子線励起X線発光分光による酸化物薄膜の深さ方向分析技術の開発
Title Transcription
ショウカク ニュウシャ デンシセン レイキ Xセン ハッコウ ブンコウ ニ ヨル サンカブツ ハクマク ノ フカサ ホウコウ ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
Author/Editor
柏倉隆之, 宇都宮大学 [著]
Author Heading
柏倉, 隆之 カシワクラ, タカユキ
宇都宮大学 ウツノミヤ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[柏倉隆之]
Publication Date
2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF)
2005
2006
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)