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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジセダイ パワー デバイスヨウ ゴクウス Si ウエハ ノ カガク キカイ ユウゴウ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 周立波, 茨城大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004-20062007.3
- 出版年（W3CDTF）
- 20042006
- 数量
- 10, 2, 206p
- 並列タイトル等
- Research on chemo-mechanical grinding process for extremely-thin Si wafer used in next generation power devices