次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H16360061
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009329308

Material type: 図書

Author: 周立波, 茨城大学 [著]

Publisher: [周立波]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 10, 2, 206p

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 次世代パワーデバイス用極薄Siウエハの化学・機械融合加工に関する研究
Title Transcription: ジセダイパワーデバイスヨウゴクウス Si ウエハノカガクキカイユウゴウカコウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 周立波, 茨城大学 [著]
Author Heading: 周, 立波シュウ, リッパ
茨城大学イバラキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [周立波]
Publication Date: 2004-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 10, 2, 206p
Alternative Title: Research on chemo-mechanical grinding process for extremely-thin Si wafer used in next generation power devices
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Alias of Author: Zhou, Libo
Subject Heading: 極薄Siウエハ / 固定砥粒加工技術 / 加工変質層 / パワー・デバイス / 化学・機械融合加工 / 無歪み / 残留応力ゴクウス Si ウエハ / コテイトリュウカコウギジュツ / カコウヘンシツソウ / パワー・デバイス / カガク・キカイユウゴウカコウ / ムヒズミ / ザンリュウオウリョク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360061
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360061
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009329308
http://id.ndl.go.jp/bib/000009329308
Bibliographic Record Category (NDL): 214