次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発
• タイトルよみ: ジセダイ 3ジク セイミツ ステージヨウ ノ サーフェス エンコーダ ノ カイハツ
• 著者・編者: 清野慧, 東北大学 [著]
• 著者標目: 清野, 慧 キヨノ, サトシ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [清野慧]
• 出版年月日等: 2002-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2006
• 数量: 345p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(S)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 位置姿勢検出 / サーフェスモータ / 多自由度 / 角度情報 / 角度格子 / クローズドループ制御 / センサ / 高精度化 イチ シセイ ケンシュツ / サーフェスモータ / タジユウド / カクド ジョウホウ / カクド ゴウシ / クローズドループ セイギョ / センサ / コウセイドカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14102017
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14102017
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009349080; http://id.ndl.go.jp/bib/000009349080
• 整理区分コード: 214