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図書

次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発

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次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発

Call No. (NDL)
Y151-H14102017
Bibliographic ID of National Diet Library
000009349080
Material type
図書
Author
清野慧, 東北大学 [著]
Publisher
[清野慧]
Publication date
2002-2006
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
345p
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ジセダイ 3ジク セイミツ ステージヨウ ノ サーフェス エンコーダ ノ カイハツ
Author/Editor
清野慧, 東北大学 [著]
Author Heading
清野, 慧 キヨノ, サトシ
東北大学 トウホク ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
2006
Extent
345p
Additional Title
研究種目 基盤研究(S)