次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発
Title Transcription: ジセダイ 3ジクセイミツステージヨウノサーフェスエンコーダノカイハツ
Author/Editor: 清野慧, 東北大学 [著]
Author Heading: 清野, 慧キヨノ, サトシ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [清野慧]
Publication Date: 2002-2006
2007.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2006
Extent: 345p
Additional Title: 研究種目基盤研究(S)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 位置姿勢検出 / サーフェスモータ / 多自由度 / 角度情報 / 角度格子 / クローズドループ制御 / センサ / 高精度化イチシセイケンシュツ / サーフェスモータ / タジユウド / カクドジョウホウ / カクドゴウシ / クローズドループセイギョ / センサ / コウセイドカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14102017
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14102017
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009349080
http://id.ndl.go.jp/bib/000009349080
Bibliographic Record Category (NDL): 214