ナノポジショニングによるナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システム

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノポジショニングによるナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システム
• タイトルよみ: ナノポジショニング ニ ヨル ナノ メガシステム ノ キョウド ブッセイ ユラギ マップ ソクテイ システム
• 著者・編者: 三浦英生, 東北大学 [著]
• 著者標目: 三浦, 英生, 1958- ミウラ, ヒデオ, 1958- ( 01154550 )典拠; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
• 出版事項: [三浦英生]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 15, 156p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 薄膜 / 強度物性 / ナノインデンテーション / ナノポジショニング / 半導体 / 信頼性 ハクマク / キョウド ブッセイ / ナノインデンテーション / ナノポジショニング / ハンドウタイ / シンライセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16206013
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16206013
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009349157; http://id.ndl.go.jp/bib/000009349157
• 整理区分コード: 214