ナノポジショニングによるナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システム

Call No. (NDL): Y151-H16206013
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009349157

Material type: 図書

Author: 三浦英生, 東北大学 [著]

Publisher: [三浦英生]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 15, 156p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノポジショニングによるナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システム
Title Transcription: ナノポジショニングニヨルナノメガシステムノキョウドブッセイユラギマップソクテイシステム
Author/Editor: 三浦英生, 東北大学 [著]
Author Heading: 三浦, 英生, 1958- ミウラ, ヒデオ, 1958- ( 01154550 )Authorities
東北大学トウホクダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [三浦英生]
Publication Date: 2004-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 15, 156p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 薄膜 / 強度物性 / ナノインデンテーション / ナノポジショニング / 半導体 / 信頼性ハクマク / キョウドブッセイ / ナノインデンテーション / ナノポジショニング / ハンドウタイ / シンライセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16206013
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16206013
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009349157
http://id.ndl.go.jp/bib/000009349157
Bibliographic Record Category (NDL): 214