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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタリングホウ ニ ヨル コウキノウ サンカブツ ザイリョウ ノ コウソク セイマク オヨビ ブッセイ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 大野信吾 [著]
- 著者標目
- 大野, 信吾 オオノ, シンゴ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Study on high rate depositions of high performance oxide films by reactive magnetron sputtering