常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

• 資料種別: 図書
• タイトル: 常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ
• タイトルよみ: ジョウオン セツゴウ ニ ヨル ウエハ スケール MEMS パッケージ
• 著者・編者: 須賀唯知, 東京大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )典拠; 東京大学 トウキョウ ダイガク ( 00305733 )典拠
• 出版事項: [須賀唯知]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2008.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 161p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 酸素プラズマ / 低温接合 / 常温接合 / 表面活性化 / サファイア接合 / ウエハ接合 / シリコン接合 サンソ プラズマ / テイオン セツゴウ / ジョウオン セツゴウ / ヒョウメン カッセイカ / サファイア セツゴウ / ウエハ セツゴウ / シリコン セツゴウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16201028
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16201028
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009372482; http://id.ndl.go.jp/bib/000009372482
• 整理区分コード: 214