常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

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Material Type: 図書
Title: 常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ
Title Transcription: ジョウオンセツゴウニヨルウエハスケール MEMS パッケージ
Author/Editor: 須賀唯知, 東京大学 [著]
Author Heading: 著者：須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )Authorities
東京大学トウキョウダイガク ( 00305733 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [須賀唯知]
Publication Date: 2004-2006
2008.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 161p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 酸素プラズマ / 低温接合 / 常温接合 / 表面活性化 / サファイア接合 / ウエハ接合 / シリコン接合サンソプラズマ / テイオンセツゴウ / ジョウオンセツゴウ / ヒョウメンカッセイカ / サファイアセツゴウ / ウエハセツゴウ / シリコンセツゴウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16201028
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16201028
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009372482
http://id.ndl.go.jp/bib/000009372482
Bibliographic Record Category (NDL): 214