Studies on high-k gate stacks by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on high-k gate stacks by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy
• 著者・編者: Ming Zhao [著]
• 著者標目: 趙, 明 チョウ, メイ
• 出版事項: [Ming Zhao]
• 出版年月日等: [2008]
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 高分解能ラザフォード後方散乱法による高誘電率ゲートスタック構造に関する研究 コウブンカイノウ ラザフォード コウホウ サンランホウ ニ ヨル コウユウデンリツ ゲート スタック コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成20年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2008
• 報告番号: 甲第13814号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Zhao, Ming
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2008-C730
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009376398; http://id.ndl.go.jp/bib/000009376398
• 整理区分コード: 213