Studies on high-k gate stacks by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on high-k gate stacks by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy
• Author/Editor: Ming Zhao [著]
• Author Heading: 趙, 明 チョウ, メイ
• Publication, Distribution, etc.: [Ming Zhao]
• Publication Date: [2008]
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高分解能ラザフォード後方散乱法による高誘電率ゲートスタック構造に関する研究 コウブンカイノウ ラザフォード コウホウ サンランホウ ニ ヨル コウユウデンリツ ゲート スタック コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成20年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2008
• Dissertation Number: 甲第13814号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Zhao, Ming
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-C730
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009376398; http://id.ndl.go.jp/bib/000009376398
• Bibliographic Record Category (NDL): 213