Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies
• 著者・編者: Keiko Matsuda [著]
• 著者標目: 松田, 景子 マツダ, ケイコ
• 出版事項: [Keiko Matsuda]
• 出版年月日等: [2008]
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価 ラマン ブンコウホウ オヨビ カソードルミネッセンス ブンコウホウ ニ ヨル ビショウ デンシ デバイス ノ コウゾウ ヒョウカ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成20年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2008
• 報告番号: 甲第12700号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2008-D549
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009403414; http://id.ndl.go.jp/bib/000009403414
• 整理区分コード: 213