Catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) processes of organic silicon compounds and the future prospects of remote Cat-CVD

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) processes of organic silicon compounds and the future prospects of remote Cat-CVD
• 著者・編者: Takashi Morimoto [著]
• 著者標目: 森本, 隆志 モリモト, タカシ
• 出版事項: [Takashi Morimoto]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 2冊 (副論文・参考論文とも)
• 並列タイトル等: 有機シリコン化合物の触媒化学気相堆積(触媒CVD)過程とリモート触媒CVDの将来展望 ユウキ シリコン カゴウブツ ノ ショクバイ カガク キソウ タイセキ ( ショクバイ CVD ) カテイ ト リモート ショクバイ CVD ノ ショウライ テンボウ
• 授与機関名: 北陸先端科学技術大学院大学
• 授与年月日: 平成19年3月22日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第472号
• 学位: 博士 (材料科学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2008-D967
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009405550; http://id.ndl.go.jp/bib/000009405550
• 整理区分コード: 213