誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
• タイトルよみ: ユウドウ ケツゴウ プラズマ シエン スパッタホウ ニ ヨル トウメイ ドウデンセイ サンカ アエン ハクマク ノ サクセイ
• 著者・編者: 松田良信, 長崎大学 [著]
• 著者標目: 松田, 良信 マツダ, ヨシノブ; 長崎大学 ナガサキ ダイガク
• 出版事項: [松田良信]
• 出版年月日等: 2005-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2007
• 数量: 33枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 誘導結合プラズマ / スパッタリング / 透明誘電膜 / 酸化亜鉛 ユウドウ ケツゴウ プラズマ / スパッタリング / トウメイ ユウデンマク / サンカ アエン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17540472
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17540472
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009439987; http://id.ndl.go.jp/bib/000009439987
• 整理区分コード: 214