誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成

• Material Type: 図書
• Title: 誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
• Title Transcription: ユウドウ ケツゴウ プラズマ シエン スパッタホウ ニ ヨル トウメイ ドウデンセイ サンカ アエン ハクマク ノ サクセイ
• Author/Editor: 松田良信, 長崎大学 [著]
• Author Heading: 松田, 良信 マツダ, ヨシノブ; 長崎大学 ナガサキ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [松田良信]
• Publication Date: 2005-2007; 2008.5
• Publication Date (W3CDTF): 2005; 2007
• Extent: 33枚
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: 誘導結合プラズマ / スパッタリング / 透明誘電膜 / 酸化亜鉛 ユウドウ ケツゴウ プラズマ / スパッタリング / トウメイ ユウデンマク / サンカ アエン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17540472
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H17540472
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009439987; http://id.ndl.go.jp/bib/000009439987
• Bibliographic Record Category (NDL): 214