集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究
• タイトルよみ: シュウソク プロトンセン ビョウガ ニ ヨル ポリマー ガラス ザイリョウ ノ マイクロ ナノ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 西川宏之, 芝浦工業大学 [著]
• 著者標目: 西川, 宏之 ニシカワ, ヒロユキ ( 001149086 )典拠; 芝浦工業大学 シバウラ コウギョウ ダイガク ( 00299885 )典拠
• 出版事項: [西川宏之]
• 出版年月日等: 2005-2007; 2008.6
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2007
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 集束プロトンビーム / 微細加工 / 高アスペクト比構造 / レジスト / マイクロフォトニクス / 導波路 / ナノバイオロジー / バイオセンサー シュウソク プロトンビーム / ビサイ カコウ / コウアスペクトヒ コウゾウ / レジスト / マイクロフォトニクス / ドウハロ / ナノバイオロジー / バイオセンサー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17310085
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17310085
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009443189; http://id.ndl.go.jp/bib/000009443189
• 整理区分コード: 214