集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H17310085
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009443189

Material type: 図書

Author: 西川宏之, 芝浦工業大学 [著]

Publisher: [西川宏之]

Publication date: 2005-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究
Title Transcription: シュウソクプロトンセンビョウガニヨルポリマーガラスザイリョウノマイクロナノカコウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 西川宏之, 芝浦工業大学 [著]
Author Heading: 西川, 宏之ニシカワ, ヒロユキ ( 001149086 )Authorities
芝浦工業大学シバウラコウギョウダイガク ( 00299885 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [西川宏之]
Publication Date: 2005-2007
2008.6
Publication Date (W3CDTF): 2005
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 集束プロトンビーム / 微細加工 / 高アスペクト比構造 / レジスト / マイクロフォトニクス / 導波路 / ナノバイオロジー / バイオセンサーシュウソクプロトンビーム / ビサイカコウ / コウアスペクトヒコウゾウ / レジスト / マイクロフォトニクス / ドウハロ / ナノバイオロジー / バイオセンサー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17310085
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17310085
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009443189
http://id.ndl.go.jp/bib/000009443189
Bibliographic Record Category (NDL): 214