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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H16360356
国立国会図書館書誌ID
000009491653
資料種別
図書
著者
佐藤直幸, 茨城大学 [著]
出版者
[佐藤直幸]
出版年
2004-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キノウセイ フクゴウ カゴウブツ ザイリョウ ノ ゴウセイ ニ ムケタ センタクテキ ウンドウリョウ セイギョガタ プラズマ セイマク ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
佐藤直幸, 茨城大学 [著]
著者標目
佐藤, 直幸 サトウ, ナオユキ
茨城大学 イバラキ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2006
2008.5
出版年(W3CDTF)
2004
2006
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)