機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H16360356
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009491653

Material type: 図書

Author: 佐藤直幸, 茨城大学 [著]

Publisher: [佐藤直幸]

Publication date: 2004-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発
Title Transcription: キノウセイフクゴウカゴウブツザイリョウノゴウセイニムケタセンタクテキウンドウリョウセイギョガタプラズマセイマクギジュツノカイハツ
Author/Editor: 佐藤直幸, 茨城大学 [著]
Author Heading: 佐藤, 直幸サトウ, ナオユキ
茨城大学イバラキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [佐藤直幸]
Publication Date: 2004-2006
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 酸化物材料プラズマ合成 / ECR低温プラズマ / 動重力 (時間平均マックスウェル応力) / 組成比制御 / 運動量制御 / 配向性制御 / 酸素プラズマ / 低気圧PVD サンカブツザイリョウプラズマゴウセイ / ECR テイオンプラズマ / ドウジュウリョク (ジカンヘイキンマックスウェルオウリョク) / ソセイヒセイギョ / ウンドウリョウセイギョ / ハイコウセイセイギョ / サンソプラズマ / テイキアツ PVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360356
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360356
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009491653
http://id.ndl.go.jp/bib/000009491653
Bibliographic Record Category (NDL): 214