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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- サブミクロン デバイス ノ タメ ノ コンタクト ホール エッチング オヨビ ドウ ウメコミ ギジュツ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 大岡昌洋 [著]
- 著者標目
- 大岡, 昌洋 オオオカ, マサヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年（W3CDTF）
- 2007
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Contact hole etching and Cu filling technology for submicron devices