水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究
• タイトルよみ: スイジョウキ プラズマ ト コタイ ソース プラズマ オ モチイタ ホタルイシ ノ ドライ エッチング ギジュツ ノ キソ ケンキュウ
• 著者・編者: 松谷晃宏, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 松谷, 晃宏 マツタニ, アキヒロ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [松谷晃宏]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: プラズマ / 水蒸気 / 蛍石 / ドライエッチング / 固体ソース プラズマ / スイジョウキ / ホタルイシ / ドライエッチング / コタイ ソース
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18510108
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18510108
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009517912; http://id.ndl.go.jp/bib/000009517912
• 整理区分コード: 214