水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究

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Material Type: 図書
Title: 水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究
Title Transcription: スイジョウキプラズマトコタイソースプラズマオモチイタホタルイシノドライエッチングギジュツノキソケンキュウ
Author/Editor: 松谷晃宏, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 松谷, 晃宏マツタニ, アキヒロ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [松谷晃宏]
Publication Date: 2006-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: プラズマ / 水蒸気 / 蛍石 / ドライエッチング / 固体ソースプラズマ / スイジョウキ / ホタルイシ / ドライエッチング / コタイソース
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18510108
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18510108
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009517912
http://id.ndl.go.jp/bib/000009517912
Bibliographic Record Category (NDL): 214