MEMS用薄膜材料の破壊特性に及ぼす膜厚と温度の効果

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: MEMS用薄膜材料の破壊特性に及ぼす膜厚と温度の効果
• タイトルよみ: MEMSヨウ ハクマク ザイリョウ ノ ハカイ トクセイ ニ オヨボス マクアツ ト オンド ノ コウカ
• 著者・編者: 中尾茂樹 [著]
• 著者標目: 中尾, 茂樹 ナカオ, シゲキ
• 出版事項: [中尾茂樹]
• 出版年月日等: [2008]
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成20年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2008
• 報告番号: 甲第7995号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2008-H296
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009521274; http://id.ndl.go.jp/bib/000009521274
• 整理区分コード: 213