プラズマプロセスによる相転移酸化物結晶成長とスイッチングデバイス創製

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマプロセスによる相転移酸化物結晶成長とスイッチングデバイス創製
• タイトルよみ: プラズマ プロセス ニ ヨル ソウテンイ サンカブツ ケッショウ セイチョウ ト スイッチング デバイス ソウセイ
• 著者・編者: 沖村邦雄, 東海大学 [著]
• 著者標目: 沖村, 邦雄 オキムラ, クニオ; 東海大学 トウカイ ダイガク
• 出版事項: [沖村邦雄]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.3
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 55p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 機能性酸化物 / バナジウム酸化膜 / ICP支援スパッタ装置 / スイッチングデバイス / 相転移 / プラズマプロセス / メモリーデバイス / エピタキシャル成長 キノウセイ サンカブツ / バナジウム サンカマク / ICP シエン スパッタ ソウチ / スイッチングデバイス / ソウ テンイ / プラズマプロセス / メモリーデバイス / エピタキシャル セイチョウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18540495
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18540495
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009545172; http://id.ndl.go.jp/bib/000009545172
• 整理区分コード: 214