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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- プラズマ プロセス ニ ヨル ソウテンイ サンカブツ ケッショウ セイチョウ ト スイッチング デバイス ソウセイ
- Author/Editor
- 沖村邦雄, 東海大学 [著]
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2006-20072008.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 20062007
- Extent
- 55p
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)