高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究
• タイトルよみ: コウシュウハ プラズマ ノ デンシ エネルギー ブンプ ケイソクホウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 進藤春雄, 東海大学 [著]
• 著者標目: 進藤, 春雄 シンドウ, ハルオ; 東海大学 トウカイ ダイガク
• 出版事項: [進藤春雄]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 37p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体超微細化 / プラズマ加工 / マイクロマシン / プラズマ測定 / 高周波プラズマ / マイクロナノデバイス / ナノ材料 / 電子エネルギー分布 ハンドウタイ チョウビサイカ / プラズマ カコウ / マイクロマシン / プラズマ ソクテイ / コウシュウハ プラズマ / マイクロナノデバイス / ナノ ザイリョウ / デンシ エネルギー ブンプ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18540496
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18540496
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009545173; http://id.ndl.go.jp/bib/000009545173
• 整理区分コード: 214