高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H18540496
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009545173

Material type: 図書

Author: 進藤春雄, 東海大学 [著]

Publisher: [進藤春雄]

Publication date: 2006-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 37p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 高周波プラズマの電子エネルギー分布計測法に関する研究
Title Transcription: コウシュウハプラズマノデンシエネルギーブンプケイソクホウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 進藤春雄, 東海大学 [著]
Author Heading: 進藤, 春雄シンドウ, ハルオ
東海大学トウカイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [進藤春雄]
Publication Date: 2006-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 37p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体超微細化 / プラズマ加工 / マイクロマシン / プラズマ測定 / 高周波プラズマ / マイクロナノデバイス / ナノ材料 / 電子エネルギー分布ハンドウタイチョウビサイカ / プラズマカコウ / マイクロマシン / プラズマソクテイ / コウシュウハプラズマ / マイクロナノデバイス / ナノザイリョウ / デンシエネルギーブンプ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18540496
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18540496
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009545173
http://id.ndl.go.jp/bib/000009545173
Bibliographic Record Category (NDL): 214