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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- サンギョウ ギジュツ ケンキュウ カイハツ イタクヒ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ トクセイ ケイソク ヒョウカ ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
- 巻次・部編番号
- 第2分冊 (先行研究開発)
- 著者標目
- マイクロマシンセンター マイクロマシン センター ( 00732082 )典拠
- 出版年月日等
- 2008.3
- 出版年(W3CDTF)
- 2008
- 数量
- 145p
- 大きさ
- 30cm