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産業技術研究開発委託費(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書 第2分冊 (先行研究開発)

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産業技術研究開発委託費(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書. 第2分冊 (先行研究開発)

Call No. (NDL)
NB21-J22
Bibliographic ID of National Diet Library
000009545267
Material type
図書
Author
マイクロマシンセンター
Publisher
マイクロマシンセンター
Publication date
2008.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
145p ; 30cm
NDC
530
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Note (General):

平成19年度経済産業省委託事業成果

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
サンギョウ ギジュツ ケンキュウ カイハツ イタクヒ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ トクセイ ケイソク ヒョウカ ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
Volume
第2分冊 (先行研究開発)
Author Heading
マイクロマシンセンター マイクロマシン センター ( 00732082 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2008.3
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
145p
Size
30cm