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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- サンギョウ ギジュツ ケンキュウ カイハツ イタクヒ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ トクセイ ケイソク ヒョウカ ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
- Volume
- 第2分冊 (先行研究開発)
- Author Heading
- マイクロマシンセンター マイクロマシン センター ( 00732082 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2008.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 2008
- Extent
- 145p
- Size
- 30cm