同軸円筒ガスカーテン中での高速Zピンチ放電を用いた次世代デブリフリーEUV光源

• 資料種別: 図書
• タイトル: 同軸円筒ガスカーテン中での高速Zピンチ放電を用いた次世代デブリフリーEUV光源
• タイトルよみ: ドウジク エントウ ガス カーテンチュウ デ ノ コウソク Z ピンチ ホウデン オ モチイタ ジセダイ デブリ フリー EUV コウゲン
• 著者・編者: 堀田栄喜, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 堀田, 栄喜 ホッタ, エイキ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [堀田栄喜]
• 出版年月日等: 2005-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2007
• 数量: 185p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: デブリフリー / EUV光源 / 同軸二重ノズル / Zピンチ / ガスカーテン / デイフューザー / プラズマダイナミクス / MPC回路 デブリフリー / EUV コウゲン / ドウジク ニジュウ ノズル / Zピンチ / ガスカーテン / デイフューザー / プラズマダイナミクス / MPC カイロ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17206025
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17206025
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009557184; http://id.ndl.go.jp/bib/000009557184
• 整理区分コード: 214