同軸円筒ガスカーテン中での高速Zピンチ放電を用いた次世代デブリフリーEUV光源

Call No. (NDL): Y151-H17206025
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009557184

Material type: 図書

Author: 堀田栄喜, 東京工業大学 [著]

Publisher: [堀田栄喜]

Publication date: 2005-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 185p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 同軸円筒ガスカーテン中での高速Zピンチ放電を用いた次世代デブリフリーEUV光源
Title Transcription: ドウジクエントウガスカーテンチュウデノコウソク Z ピンチホウデンオモチイタジセダイデブリフリー EUV コウゲン
Author/Editor: 堀田栄喜, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 堀田, 栄喜ホッタ, エイキ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [堀田栄喜]
Publication Date: 2005-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2007
Extent: 185p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: デブリフリー / EUV光源 / 同軸二重ノズル / Zピンチ / ガスカーテン / デイフューザー / プラズマダイナミクス / MPC回路デブリフリー / EUV コウゲン / ドウジクニジュウノズル / Zピンチ / ガスカーテン / デイフューザー / プラズマダイナミクス / MPC カイロ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17206025
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17206025
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009557184
http://id.ndl.go.jp/bib/000009557184
Bibliographic Record Category (NDL): 214