超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価
• タイトルよみ: チョウテイマサツ ケイスウ アモルファス SiC ハクマク ノ ソウセイ オヨビ マサツ ハクリ キョウド ヒョウカ
• 著者・編者: 加藤昌彦, 広島大学 [著]
• 著者標目: 加藤, 昌彦 カトウ, マサヒコ; 広島大学 ヒロシマ ダイガク
• 出版事項: [加藤昌彦]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 48枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: SiC / スパッタ / 摩擦・摩耗 SiC / スパッタ / マサツ ・ マモウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18560134
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18560134
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009593847; http://id.ndl.go.jp/bib/000009593847
• 整理区分コード: 214