超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価

Call No. (NDL): Y151-H18560134
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009593847

Material type: 図書

Author: 加藤昌彦, 広島大学 [著]

Publisher: [加藤昌彦]

Publication date: 2006-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 48枚

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 超低摩擦係数アモルファスSiC薄膜の創製及び摩擦・はく離強度評価
Title Transcription: チョウテイマサツケイスウアモルファス SiC ハクマクノソウセイオヨビマサツハクリキョウドヒョウカ
Author/Editor: 加藤昌彦, 広島大学 [著]
Author Heading: 加藤, 昌彦カトウ, マサヒコ
広島大学ヒロシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [加藤昌彦]
Publication Date: 2006-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 48枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: SiC / スパッタ / 摩擦・摩耗 SiC / スパッタ / マサツ・マモウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18560134
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18560134
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009593847
http://id.ndl.go.jp/bib/000009593847
Bibliographic Record Category (NDL): 214