マイクロ波直接加熱による高移動度多結晶シリコン・ゲルマニウム薄膜作製技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロ波直接加熱による高移動度多結晶シリコン・ゲルマニウム薄膜作製技術の開発
• タイトルよみ: マイクロハ チョクセツ カネツ ニ ヨル コウイドウド タケッショウ シリコン ゲルマニウム ハクマク サクセイ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 中川清和, 山梨大学 [著]
• 著者標目: 中川, 清和 ナカガワ, キヨカズ; 山梨大学 ヤマナシ ダイガク
• 出版事項: [中川清和]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.6
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロ波加熱 / 多結晶シリコン / 多結晶シリコン・ゲルマニウム マイクロハ カネツ / タケッショウ シリコン / タケッショウ シリコン ・ ゲルマニウム
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18560007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18560007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009619771; http://id.ndl.go.jp/bib/000009619771
• 整理区分コード: 214