マイクロ波直接加熱による高移動度多結晶シリコン・ゲルマニウム薄膜作製技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: マイクロ波直接加熱による高移動度多結晶シリコン・ゲルマニウム薄膜作製技術の開発
• Title Transcription: マイクロハ チョクセツ カネツ ニ ヨル コウイドウド タケッショウ シリコン ゲルマニウム ハクマク サクセイ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 中川清和, 山梨大学 [著]
• Author Heading: 中川, 清和 ナカガワ, キヨカズ; 山梨大学 ヤマナシ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [中川清和]
• Publication Date: 2006-2007; 2008.6
• Publication Date (W3CDTF): 2006; 2007
• Extent: 1冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: マイクロ波加熱 / 多結晶シリコン / 多結晶シリコン・ゲルマニウム マイクロハ カネツ / タケッショウ シリコン / タケッショウ シリコン ・ ゲルマニウム
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18560007
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H18560007
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009619771; http://id.ndl.go.jp/bib/000009619771
• Bibliographic Record Category (NDL): 214