ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発
• タイトルよみ: ナノビョウ レーザー ユウキ エンスイ プラズマ ノ チュウシンジク シュウソク ホウデン オ モチイタ コウキド キョクタン シガイ コウゲン ノ カイハツ
• 著者・編者: 中野元博, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 中野, 元博 ナカノ, モトヒロ; 大阪大学 オオサカ ダイガク
• 出版事項: [中野元博]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.9
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体デバイス製造 / 極端紫外光 / プラズマ / レーザー / パルスパワー ハンドウタイ デバイス セイゾウ / キョクタン シガイコウ / プラズマ / レーザー / パルスパワー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17360161
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17360161
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009763053; http://id.ndl.go.jp/bib/000009763053
• 整理区分コード: 214