ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発

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Material Type: 図書
Title: ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発
Title Transcription: ナノビョウレーザーユウキエンスイプラズマノチュウシンジクシュウソクホウデンオモチイタコウキドキョクタンシガイコウゲンノカイハツ
Author/Editor: 中野元博, 大阪大学 [著]
Author Heading: 中野, 元博ナカノ, モトヒロ
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [中野元博]
Publication Date: 2005-2006
2007.9
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体デバイス製造 / 極端紫外光 / プラズマ / レーザー / パルスパワーハンドウタイデバイスセイゾウ / キョクタンシガイコウ / プラズマ / レーザー / パルスパワー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17360161
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17360161
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009763053
http://id.ndl.go.jp/bib/000009763053
Bibliographic Record Category (NDL): 214