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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- デンシセン ショウシャ ハッコウ カッセイカホウ ニ ヨル ゴクウス SOIソウチュウ ケイゲンソ フジュンブツ ノ ヒョウカ
- 著者・編者
- 中川聰子 [著]
- 著者標目
- 中川, 聰子 ナカガワ, サトコ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Evaluation of light element impurities in ultrathin SOI wafers by luminescence activation using electron irradiation